NEW-COSMOS新宇宙便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀

NEW-COSMOS新宇宙便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀
用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠中半導(dǎo)體材料氣體的泄漏

產(chǎn)品型號(hào)：XPS-7II NF3
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2024-08-09
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產(chǎn)品詳情

NEW-COSMOS新宇宙便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀

用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠中半導(dǎo)體材料氣體的泄漏

世界上很小的便攜式氣體檢測(cè)儀，用于 NF3 檢測(cè)。無需任何可選設(shè)備即可檢測(cè) NF3。
校準(zhǔn)后的氣體傳感器單元可在現(xiàn)場(chǎng)更換，減少維護(hù)工作。
大液晶屏
2路電源：干電池和交流電源（可選）
小巧輕便
警報(bào)聲音的速度根據(jù)氣體濃度而變化。

檢測(cè)儀 XPS-7II NF3（3）.jpg

NEW-COSMOS新宇宙便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀

規(guī)格

檢測(cè)原理	電化學(xué)、電化學(xué)+裂解器
目標(biāo)氣體	半導(dǎo)體氣體
取樣方法	萃取
測(cè)量范圍	根據(jù)交貨規(guī)格
精度 *1	±10%F.S. XDS-7NF 除外 -30%F.S. 至 +10%F.S. XDS-7NF
響應(yīng)時(shí)間 *1	T60：少于 60 秒
顯示	液晶屏上的四位數(shù)
電源	堿性AA電池x 4節(jié)或?qū)Ｓ?00-240VAC / 6VDC適配器（可選）*3
連續(xù)運(yùn)行時(shí)間*2	超過 12 小時(shí)（XDS-7NF 除外） XDS-8NF 超過 7 小時(shí)（使用堿性 AA 電池（東芝 LR6AN）在 20°C 下，無氣體報(bào)警）
工作溫度和濕度	0 至 +40oC， 30 至 85%RH
合規(guī)	CE （EMC： 2014/30/EU） 3 4
尺寸	約 W62 × H150 × D128 mm（不包括突起）
質(zhì)量	約 1.3 千克

*1.在相同的條件下。
*阿拉伯?dāng)?shù)字。工作時(shí)間（電池壽命）可能因環(huán)境和使用條件、存儲(chǔ)期限、電池制造商等而異*
2。交流電源適配器不符合CE標(biāo)志。
*3.有兩種類型的EC-4傳感器儲(chǔ)存器，全球和國(guó)內(nèi)（在日本使用）。全局類型帶有 CE 標(biāo)記。

批準(zhǔn)

可選氣體

氨[NH3]，硅烷[SiH4]，二氯硅烷[SiH2Cl2]，砷烷[AsH3]，膦[PH3]，[B2H6]，硒化氫【H2Se】，鍺烷【GeH4】，氯[Cl2]，【ClF3]，氯化氫【HCI】，氫氟化物【HF]，溴化氫【HBr】，一氧化氮【NO】，硫化氫【H2S】，一氧化碳【CO】，二硅烷【Si2H6】，氟【F2】，臭氧【O3】，三氟化氮【NO3】